JEL机器人使用经验分享（寻边器校准失败，晶圆偏移量太大，放入平台后发现每一片的位置都不一样）

1.问题描述

        最近在做检测设备使用的是JEL机器人进行上下料。这种机器人有上下两个手臂。我用上手臂负责从【料盒】取料->【寻边器】放料，取料->【平台】放料工作。下手臂负责从【平台】取料->再放回料盒。这样做的好处是平台有料在检测时，机器人可以再取一个片料去做寻边，寻边完成后可以在平台边上等待检测完成。平台检测完成后就可以用下手臂取料，上手臂再放料，最后下手臂再将晶圆放回料盒。这样就可以提高上下料的效率。

        问题来了，由于我们这个设备检测的是晶圆上面都是芯片，一但出问题将带来很大的损失。如晶圆撞片，导致整理片晶圆破碎。出于安全考虑我们在这个流程中会有多次的检测机器人手臂是否有料的动作。第次检测都会进行真空的开和关。在多次的循环测试中偶尔出现【寻边器校准失败，晶圆偏移量太大】的问题。在寻边器没有出现报错时，放入平台后发现每一片的位置都有点不一样。

2.问题检查和分析

        2.1 测试时分段观察看哪一段出现了。

                第一段：上手臂从料盒取出后是否在机器人调试时的位置，手臂上有4，6，8英寸的位置

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