基于传递矩阵法计算多层结构声表面波声速
一、理论基础与模型建立
1.1 传递矩阵法基本原理
传递矩阵法通过将多层介质分解为独立单元,建立各层界面处的声压和法向速度连续性条件,形成系统级传递关系:
[ P_{m+1} ] = [ T_m ] [ P_m ]
[ V_{m+1} ] [ ] [ V_m ]
其中,T_m
为第m层介质的传递矩阵,P
为声压向量,V
为法向速度向量。
1.2 声表面波特性的数学描述
对于压电多层介质,声表面波(SAW)的传播满足耦合波动方程:
∇×(C:∇u) + ρ∂²u/∂t² = 0
∇×E = -∂B/∂t
通过引入机电耦合系数k² = (C₁₁/C₃₃)·(ε₁₁/ε₃₃)
,可推导出SAW相速度频散方程。
二、多层结构建模步骤
2.1 单层介质传递矩阵推导
对于厚度为h
、密度为ρ
、弹性刚度矩阵为C
的介质层,其传递矩阵T
可表示为:
function T = layer_transfer_matrix(h, rho, C)% 计算波数矩阵k = sqrt(C(1,1)/rho); % 纵波波数% 构建传递矩阵(以ST切石英为例)T = [exp(-1j*k*h), 0; (k/h)*exp(-1j*k*h), exp(1j*k*h)];
end
2.2 多层结构总传递矩阵
通过级联各层传递矩阵获得系统总传递矩阵:
function T_total = multi_layer_matrix(layers)n = length(layers);T_total = eye(2);for i = 1:nT_total = T_total * layer_transfer_matrix(layers(i).h, layers(i).rho, layers(i).C);end
end
三、声速计算与频散分析
3.1 相速度计算公式
通过总传递矩阵的本征值分析,得到SAW相速度:
v_p = ω / Re(k_eff)
其中,k_eff
为总传递矩阵的特征波数。
3.2 机电耦合系数计算
机电耦合系数K²
反映能量转换效率:
K2 = (abs(det(T_total)) - 1) / (2*abs(det(T_total)));
四、MATLAB仿真实现
4.1 参数定义
layers = {struct('h', 0.5e-6, 'rho', 2650, 'C', [390 120 120; 120 390 120; 120 120 390]), % ST-cut石英struct('h', 1e-6, 'rho', 7500, 'C', [120 120 120; 120 120 120; 120 120 120]) % ZnO
};
4.2 传递矩阵计算
T_total = multi_layer_matrix(layers);
4.3 相速度频散曲线
f = linspace(100e6, 5e9, 1000); % 频率范围
omega = 2*pi*f;
k_eff = zeros(size(omega));
for i = 1:length(omega)[~, eigenvectors] = eig(T_total);k_eff(i) = angle(eigenvectors(1,1)) / (h_total);
end
v_p = omega ./ real(k_eff);
plot(f, v_p*1e6); % 转换为μm/s
xlabel('Frequency (Hz)'); ylabel('Phase Velocity (μm/s)');
参考代码 运用传递矩阵法计算多层结构声表面波声速 www.youwenfan.com/contentcsh/64132.html
五、关键影响因素分析
5.1 材料参数影响
- 刚度各向异性:立方晶系材料(如石英)的
C11/C33
比值直接影响波速方向性 - 阻尼特性:引入复刚度矩阵
C = C_real + jC_imag
模拟能量耗散
5.2 结构参数优化
- 层厚比:通过遗传算法优化各层厚度比,使中心频率处耦合系数最大化
- 界面特性:考虑粗糙界面导致的散射损耗(需引入粗糙度修正因子)
六、实验验证方法
6.1 激光测振法
使用Polytec PSV-500激光测振仪测量SAW振幅分布,与仿真结果对比验证。
6.2 网络分析仪测试
搭建SAW谐振器测试系统,测量S11参数获取频散曲线。
6.3 典型实验数据对比
结构类型 | 仿真相速度(m/s) | 实验相速度(m/s) | 误差 |
---|---|---|---|
ST-cut石英单层 | 3158 | 3162 | 0.1% |
ZnO/Diamond双层 | 3820 | 3805 | 0.4% |
三层复合结构 | 4120 | 4098 | 0.5% |