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[激光原理与应用-168]:测量仪器 - 对光学指标进行测量的仪器

一、基础光学参数测量仪器 - 频率/波长/功率

  1. 光学显微镜
    • 用途:观察微小物体显微图像,用于材料科学、生物学等领域。
    • 特点高放大倍数和分辨率,可清晰显示微观结构。
  2. 光谱分析仪
    • 用途:测量发光体的辐射光谱,分析物质成分和结构
    • 特点:关注波长范围(如600nm-1750nm)、精度(±20pm)和分辨率(RBW带宽0.03-1nm)。
  3. 光功率计
    • 用途:测量光功率,广泛应用于光纤通信、光电子器件测试。
    • 特点覆盖宽波长范围(450nm-1800nm),具备高灵敏度和多通道测试能力。
  4. 可调谐激光源
    • 用途:提供波长可调的激光,用于光学测量和校准
    • 特点:支持高动态范围输出,具有高波长精度和快速扫描能力(如80nm/s)。
  5. 多波长计
    • 用途:测量输入信号的波长和功率,可区分多达1000个离散波长。
    • 特点:高精度,适用于复杂光信号分析。

二、几何尺寸与形貌测量仪器

  1. 干涉仪
    • 用途:利用光的干涉现象测量微小距离、角度或表面平整度。
    • 类型:迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪等。
    • 特点高精度(纳米级),常用于光学精密测量。
  2. 激光测径仪
    • 用途:以激光为光源,测量物体外形尺寸。
    • 特点:非接触测量,适用于工业在线检测。
  3. 工具显微镜
    • 用途:按平面直角坐标和极坐标测量零件尺寸。
    • 类型:小型、大型、万能工具显微镜等。
    • 特点:高精度,可配备多种测量附件。
  4. 3D表面轮廓仪
    • 用途:测量物体表面三维形貌。
    • 特点:采用白光照明,结合CCD摄像机采集相位变化,实现非接触式测量。

三、光学性能测量仪器

  1. 椭偏仪
    • 用途:分析薄膜厚度或材料光学性质(如折射率、消光系数)。
    • 特点:非破坏性测量,广泛应用于半导体制造和微电子学。
  2. 偏振分析仪和控制器
    • 用途:分析光信号偏振特性,调整光信号偏振状态。
    • 特点:实时测量偏振态,支持快速转换和校准。
  3. 光度计
    • 用途:测量光强或光源亮度(如照度计、亮度计)。
    • 特点:高灵敏度,适用于低光环境测量。

四、特殊应用光学测量仪器

  1. 光学相干断层扫描仪(OCT)
    • 用途:利用低相干光干涉原理,进行医学视网膜成像或材料无损检测。
    • 特点:非侵入式,高分辨率。
  2. 激光雷达(LiDAR)
    • 用途:利用激光脉冲测量距离,应用于地形测绘、自动驾驶。
    • 特点:高精度,可实时获取三维空间信息
  3. 光子相关光谱仪
    • 用途:通过散射光分析纳米颗粒尺寸(动态光散射技术)。
    • 特点:非接触式,适用于微小颗粒测量。

五、工业与医学检测专用仪器

  1. 投影光刻机
    • 用途:利用紫外光在半导体晶圆上刻蚀微纳结构
    • 特点高精度,是芯片制造的核心设备
  2. 内窥镜
    • 用途:通过光纤或透镜系统观察人体内部或工业设备内部结构。
    • 特点:柔性或刚性设计,适应不同检测场景。
  3. 自准直仪
    • 用途:测量小角度或直线度,常用于机床导轨校准。
    • 类型:光学自准直仪、光电自准直仪、数字式自准直仪。
    • 特点:高精度,操作简便。
http://www.dtcms.com/a/319290.html

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