电容式原理检测微小位移的技术方案以及芯片方案

目录

一、电容式微小位移检测技术方案

1. 核心检测原理

2. 典型结构设计

3. 关键性能参数设计

二、电容检测电路与芯片方案

1. 经典检测电路方案

2. 专用芯片方案（推荐）

3. 芯片外围电路设计要点

三、技术挑战与解决方案

总结

---

电容式微小位移检测技术基于 “极板间距变化引起电容变化” 的原理，具有高精度（可达纳米级）、低功耗、抗电磁干扰强等特点，广泛应用于精密仪器、微机电系统（MEMS）、振动监测等领域。以下是其技术方案及芯片方案的详细说明：

一、电容式微小位移检测技术方案

1. 核心检测原理

电容式传感器的基本结构为平行板电容器，电容值计算公式为：
C = ε₀·εᵣ·S/d
其中：

• ε₀为真空介电常数，εᵣ为介质相对介电常数，S 为极板正对面积，d 为极板间距。

当目