3000h CeB₆ 灯丝加持的 Phenom XL G3 扫描电镜技术亮点

Phenom XL G3 扫描电镜配备 3000h 灯丝，平均 5 年更换一次，真正省心省钱。AI 智能、自动拼图、集成能谱，轻松实现工业 4.0 级检测。无论是科研实验室还是生产车间，都能快速稳定运行。

「特点速览」

• 稳定可靠: 80年顶尖技术传承。

• 独家采用 CeB6晶体灯丝: 3000 h 超长使用寿命，平均 5 年换灯丝。

• 面向工业 4.0 的自动化与 AI 智能扫描电镜：开放编程接口，打造定制化的“黑灯实验室”检测流程，支持 Maps 地图式多模态、多维度自动拼图及关联。

• 不挑安装环境：内置专利减震系统，可直接放置于生产车间、高楼层 QC 实验室等。

• 原厂集成能谱 EDS：从电子光学设置、图像采集到能谱分析和面分布，都在同一个统一、直观的界面中完成。

• 卓越的低电压成像功能：对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品，不喷金，仍具有卓越的成像能力。

01.80 年顶尖技术传承

（1）飞利浦时期（1939-1996）

• 起源：1939 年，Le Poole 提出电子显微镜构想，1944 年成功开发 150kV 电子显微镜，奠定技术基础。

• 发展：1949 年推出第一台商业化电镜 EM100。后续不断推出创新产品，如 1972 年进入 SEM 市场，推出 PSEM500。

（2）FEI 时期 (1996-2016)

• 合并：1997 年，飞利浦电子光学业务与 FEI 合并，获得 ESEM 技术，技术实力增强。

• 创新：2006 年推出全球首台桌面型扫描电镜--飞纳（Phenom World），首次使用 1500h 长寿命 CeB6 灯丝。

 （3）赛默飞时期（2016-至今）

• 收购：2016 年，FEI 被赛默飞收购。2018 年 Phenom World 被赛默飞收购，正式更名为 Thermo Scientific 品牌。

 

• 传承与发展：技术上继承 FEI 创新成果，继续提升性能，目前除了 CeB 灯丝系列，还有台式场发射电镜系列，公安法医等特定领域专用电镜，产品线丰富，型号达数十种。

飞纳电镜从飞利浦到赛默飞，历经近 80 年技术沉淀，从最初的构想与商业化，到不断的技术创新与突破，始终在电子显微镜领域保持领先地位。

02.3000h CeB6 晶体灯丝--平均 5 年更换灯丝

拥有超长寿命核心部件，独家采用 3000 小时高亮度六硼化铈（CeB₆）灯丝，平均 5 年更换灯丝，确保设备 7×24 小时连续运行，减少维护频率和持有成本，让产线或实验室长期稳定运行无忧。

03. AI 智能扫描电镜--面向工业 4.0 的自动化

从装样到出图，仅需 1 分钟，高测试效率，操作员无需漫长等待，检测通量比传统电镜提升 5-10 倍，极大加速了 QC 判断和研发迭代。

        （1） “深度集成，随需而变”

开放的自动化接口，提供 Python 脚本控制 (PPI)，可以无缝集成到客户现有的自动化产线和 LIMS 系统中。精准的自动化马达台，结合软件脚本，一次可容纳 36 个样品，打造“无人值守的质检工厂”，自定义设定程序，在夜间或休息时间对大批量样品进行自动拍照和分析，最大化设备利用率。

（2）“一张图看全貌，多点分析无遗漏”

在晶圆、滤膜、金属断口等大样品上，自动获取全景高清图，并对预设的关键点位进行高倍率分析，确保检测无死角。

（3）从“看”到“算”

专业的自动化分析软件，ParticleMetric (颗粒统计)、FiberMetric (纤维统计) 等专用软件。自动化完成需要人工数小时才能完成的颗粒度、形貌、尺寸分布等统计工作，输出标准化报告，实现真正的量化品控。

04 不挑安装环境

内置专利减震系统，超强的环境适应性

内置专利减震系统，对安装环境要求低，无需防震台，可直接放置于生产车间、楼层 QC 实验室等，甚至可以车载，野外场景使用。节省实验室改造费用，真正做到“买得起，更能用得好”。

飞纳电镜曾经参与冰岛火山口、西班牙无人岛等科学研究项目，是适用于最恶劣环境的便携扫描电镜。科研人员采集样本回到帐篷中，利用飞纳电镜来确定样本的化学构成，极大地提高了样本采集和分析的效率。

05.原厂集成能谱 EDS

完全集成能谱探测器，所有操作：从电子光学设置、图像采集到能谱分析和面分布，都在同一个统一、直观的界面中完成。

        （1） ChemiSEM 彩色成像技术

形貌图像和元素数据实时同步，无缝调用。用户可以在观察形貌的同时，即时进行点、线、面分析，无需任何数据导入导出的步骤。

（2）Phase Mapping 相分析软件

专有的在线相分析软件模块 (Phase Mapping)，利用强大的算法，根据每个像素点的元素定量结果，自动识别、分类并标定出不同的“相”或“化合物”。

06.卓越的低电压成像功能

PhenomXL G3 配备了全新升级真空设计和背散射探测器 (BSD)，优化了低电压下的灵敏度，提升了总体的信噪比 (S/N)，对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品，可以使用更低的束流进行拍摄，提升分辨率的同时，降低荷电效应带来的影响。

由于整体信噪比的提升，我们可以使用更短的采集时间采集同样质量的照片，在自动化工作流程中，高通量照片拍摄的总效率平均提升 30%。

          

电子陶瓷

• 放大倍数：1,000X

• 5kV，未喷金，背散射电子像

• 观测到陶瓷内晶粒大小和空隙

            

CMOS 探测器

• 放大倍数：5,000X

• 2kV，二次电子像

• 可以清晰看到像素单元及表面污染物