芯片ATE测试PAT(Part Average Testing)学习总结-20250916
目录
一、基本概念
二、静态PAT
三、动态PAT
四、参考链接:
一、基本概念
零件平均测试(Part Average Testing,PAT)是一种基于统计学的质量控制方法,主要用于半导体制造中筛选出与正常参数范围偏差较大的“异常值”芯片,以提高产品质量和可靠性;
二、静态PAT
静态PAT limits(Static PAT Limit):基于一定数量的测试数据预先设定,并在一段时间内保持不变。
静态PAT限制通常每6个月或每8个晶圆lots更新一次,计算公式为:Static PAT Limits = Robust Mean ± 6 Robust Sigma;
从每个lot中随机选取30个以上器件进行测试,每个晶圆不同区域至少5个芯片(每个批次30个以上芯片),用于确定稳健平均值和sigma值(Robust mean、Robust Sigma);
Robust Mean的计算方式:将数据按照从小到大排列,Robust Mean为中位数或中间两个数据的平均值;
Robust Sigma的计算方式:通过四分位数间距来计算,将数据从小到大排序,计算第一四分位数(Q1,即25%