1. General layer information(基本层信息)
1.1 layer information,层信息
No. | Mask ID | Drawn layer | Drawn No. | Digitized Tone | Drawn or Generated | Description |
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| 掩膜ID | EDA中的名称 | GDSII文件中的数字编码 | 掩膜板透光性:Dark=阻光(保留),Clear=透光(刻蚀区域) | Drawn=手动绘制,Generated=工具自动生成 | 层的功能说明 |
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1 | TO | TO | 1 | Dark | Drawn | Active area |
模拟IC设计核心层分类(高频→中频)
层标识 | 类型 | 描述 | 模拟设计典型应用 |
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TO | 有源区,Active Area(AA) | 指用于加工有源区的掩膜,通过layout图像可知,有源区完全覆盖了沟道、源极和漏极 | ---- |
TB | N阱,N-Well(NW) | 完全包裹PMOS器件的有源区(TO) | N阱中的多子为电子,一般掺入五价磷或砷 |
NX | N型注入,N-type Implant (X) | 用于N型注入的掩膜,可以用于制作N型的GuardRing | N型的GuardRing通常接VDD,用来保护NMOS。原因,N-GuardRing为N型掺杂与NMOS的P衬底形成PN结 |
PX | P型注入,P-type Implant (X) | 用于P型注入的掩膜,可以用于制作P型的GuardRing | P型的GuardRing通常接GND,用来保护PMOS。原因,P-GuardRing主要为型掺杂与PMOS的N衬底形成PN结 |
GT | GATE,晶体管栅极 | 相当于开关,根据layout可知,栅极要比有源区宽一些,也常记作poly(多晶硅) | ---- |
SN | N+ Select Layer,N+选择层 | 是控制N型掺杂区域选择性注入的关键掩膜层,配合NX层精确定位掺杂区,激活则为Nwell注入,屏蔽则为P+区域 | 专门用于定义需要高浓度N型掺杂的区域,尤其是NMOS晶体管的源极(Source)和漏极(Drain),SN与SP需要间隔,SN层需略大于AA层边界 |
SP | P+选择层 | P+ Select Laye,是控制P型重掺杂区域选择性注入的关键掩膜层,配合PX层精确定位掺杂区 | 专门用于定义需要高浓度P型掺杂的区域,尤其是PMOS晶体管的源极(Source)和漏极(Drain),SN与SP需要间隔,SP层需略大于AA层边界 |
MET1 | 金属1 | 基础互连层 | 90%的局部走线 |
W1 | Contact Layer,接触孔,也常记作CT | 连接有源区与金属1或栅极与金属1 | 器件电极引出 |
W2 | 过孔 | Via Layer,层间金属连接 | MET1→MET2跳线 |
DUMMY | 填充层 | 解决图形密度不均匀导致的化学机械抛光(CMP)碟形效应和刻蚀负载效应,保证制造均匀性 | 大块空白区域密度补偿 |
闩锁效应:芯片自己短路,VDD直接连接GND,预防的办法是加入GuardRing让电流有地方可以去。