[光学原理与应用-472]：半导体芯片生产、测试的产业链中使用到哪些种类的激光器，技术原理，主要供应商。

一、生产与测试环节中使用的激光器种类

1. 紫外光（UV）与深紫外光（DUV）激光器
   • 应用：晶圆表面缺陷检测、膜厚测量。
   • 技术原理：短波长提升分辨率，DUV激光器（波长<200nm）能量密度是UV的数倍，可识别<10nm的缺陷。
   • 案例：KLA Surfscan SP7型号采用DUV光源，实现高灵敏度缺陷分类。
2. 可见光激光器
   • 应用：早期半导体检测（如晶圆外观检查）、辅助照明或标记。
   • 局限性：波长较长，检测精度较低，逐渐被UV/DUV替代。
3. 红外光激光器
   • 应用：半导体材料内部结构检测、封装缺陷检测、热成像。
   • 技术挑战：分辨率受波长限制，多用于辅助检测。
4. 可调谐激光器
   • 应用：多波长检测场景（如光谱分析、气体传感）。
   • 技术原理：波长连续调谐（如Ti:Sapphire激光器700-1100nm）。
5. 超快激光器
   • 应用：检测半导体材料的瞬态特性（如载流子动力学）。
   • 技术优势：脉冲宽度极短（飞秒/皮秒级），减少热损伤。
6. 多光子激光器
   • 应用：先进封装或3D集成电路的无损检测。
   • 技术原理：多光子吸收效应实现深层组织检测。
7. 边发射激光器（EEL）
   • 应用：高功率工业切割、光纤激光器泵浦源。
   • 典型波长：808nm（泵浦）、980nm（通信）。
8. 垂直腔面发射激光器（VCSEL）
   • 应用：3D传感（如手机人脸识别）、短距光通信。
   • 技术优势：光束圆形对称，集成分布式布拉格反射镜（DBR）。

二、国内深紫外激光器主要厂商

在半导体芯片生产与测试产业链中，深紫外激光器因其短波长和高分辨率的特性，在晶圆检测、膜厚测量等环节发挥着关键作用。以下是国内深紫外激光器的主要厂商及其产品特点：

1. 北京科益虹源光电技术
   • 市场地位：与武汉华日精密激光、南京科耐激光技术并称国内266nm皮秒深紫外激光器三大供应商。
   • 技术特点：提供高精度、短脉冲的深紫外激光解决方案，适用于半导体晶圆检测等高端制造场景。
2. 武汉华日精密激光
   • 产品矩阵：覆盖纳秒、皮秒、飞秒等多种脉冲宽度，以及红外、绿光、紫外、深紫外等多种波长的激光器。
   • 认证与合作：产品通过欧盟CE质量安全认证，与全球高端激光设备制造商在半导体、新能源等领域开展紧密合作。
3. 南京科耐激光技术
   • 技术定位：作为国内266nm皮秒深紫外激光器三大供应商之一，专注于超快激光技术的研发与应用。
   • 应用场景：为半导体晶圆检测、微纳加工等领域提供高精度激光解决方案。
4. 英诺激光科技股份有限公司
   • 技术实力：全球少数实现工业加工深紫外纳秒激光器批量供应的生产商之一，产品涵盖DPSS调Q纳秒激光器、超短脉冲（皮秒、飞秒）激光器等。
   • 应用领域：广泛应用于芯片制造、生物医疗等领域，销售覆盖全球20多个国家和地区。
5. 卓劼激光
   • 企业背景：成立于2023年10月，专业从事紫外及深紫外固体激光器、半导体激光器、准分子激光器的研发与生产。
   • 产品系列：形成准分子激光器、紫外及深紫外激光器、蓝光半导体激光器、仪器光源激光器四大产品线。
   • 战略定位：面向国家重大战略需求，为新型显示、新能源等领域提供专业激光光源类产品。
6. 深圳有维光电科技有限公司
   • 技术突破：成功研制国内首台拥有完全自主知识产权的1瓦320纳米及261纳米全固态深紫外线激光器。
   • 应用领域：脉冲激光沉积、激光剥离、晶圆检测、退火、划片、塑料与玻璃打标、生物技术、显微成像、拉曼光谱分析、微加工（如光纤布拉格光栅写入）等。
   • 企业布局：在深圳设立总公司，并在山东成立子公司，形成南北协同的研发与生产体系。
7. 苏州紫光伟业激光科技
   • 技术背景：专注于高功率紫外固体激光器的研发与制造。
   • 产品系列：涵盖高重复频率的NdYVO4激光器、低重复频率的NdYLF激光器及其紫外深紫外纳秒脉冲激光器，波长包括266nm深紫外固体激光器。
   • 研发实力：拥有17项中国发明专利、1项美国专利局授权版权及6项国内实用新型专利，搭建独立研发和生产能力的激光实验室。

三、激光器的元器件主要供应商

1. 国际供应商
   • COHERENT高意：全球激光器龙头，提供从激光测量到精密光学的多样化产品，覆盖工业、通信、电子市场。
   • LUMENTUM：美国上市公司，激光器行业先驱，主导先进二极管激光器市场。
   • IPG阿帕奇：专业开发高性能光纤激光器，低/中/高功率产品业内知名。
   • TRUMPF通快：德国百年品牌，全球钣金加工设备和工业激光应用龙头。
   • ams OSRAM：全球领先光学解决方案供应商，专注光学、传感、光源三大板块。
2. 国内供应商
   • 长光华芯：国内高功率半导体激光芯片龙头，产品涵盖激光芯片、器件、光纤耦合模块等，广泛应用于工业激光器泵浦、光通信等领域。
   • 炬光科技：国内高功率半导体激光器佼佼者，从事高功率元器件、原材料、激光光学元器件的研发生产。
   • 源杰科技：聚焦光芯片行业，已实现25G激光器芯片大批量供货，应用于光纤接入、5G移动通信网络和数据中心。
   • 仟目科技：聚焦激光器芯片国产替代，完成近亿元B轮融资，布局特殊工艺设备。
   • 凯普林光电：中国最具实力的半导体激光器件提供商，产品线覆盖可见光到近红外波段。
3. 新兴供应商
   • 度亘核芯：以高端激光芯片设计与制造为核心，拥有全套工程技术能力和量产制造能力。
   • 瑞波光电子：专业从事高端大功率半导体激光芯片研发，推出500mw 638nm红光TO金属封装等创新产品。
   • 立芯光电：国内砷化镓基高功率半导体激光器芯片领域领先企业，打破国外技术壁垒。