白光干涉测量系统的复合相移三维重建和多视场形貌拼接的复现
白光干涉测量系统的复合相移三维重建和多视场形貌拼接
1. 论文标题
《白光干涉测量系统的复合相移三维重建和多视场形貌拼接》
2. 内容概括
该论文针对白光干涉测量技术在超精密器件表面检测中的关键技术挑战,提出了复合相移三维重建算法和多视场形貌拼接方法。主要内容包括:(1) 构建复合高斯相移模型,提出基于合成波长的相位融合方法,提高测量精度和抗干扰能力;(2) 提出基于内群特征点对的快速配准算法,改进FAST和SIFT算子实现高效点云配准;(3) 开发了白光干涉三维形貌检测系统,通过实验验证了方法的有效性。研究解决了大尺寸基底精细微结构测量中的精度、速度和范围等问题。
3. 论文复现代码及解释
3.1 复合相移三维重建算法实现
import numpy as np
import cv2
from scipy.optimize import least_squares