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晶圆厂(Fab)对超净服的穿着如何规范?

晶圆代工厂(Fab),特别是先进制程的晶圆代工厂,对于颗粒的控制是苛刻到了极致。在7nm和5nm工艺中,任何微小的颗粒都可能导致严重的缺陷,而人作为颗粒的首要来源,自然成为了被严格控制的对象。超净服的穿着尤为重要,且有严格的穿着流程,今天就教大家如何规范穿着超净服吧。

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在家需要做哪些准备?

1,保持良好的个人卫生习惯:每天洗澡、剃须、刷牙和洗头。皮肤是一个持续剥落细胞的器官,因此使用不含硅的皮肤保湿剂有助于降低死皮细胞的数量。

2,所有化妆品、发胶、香水等均不适合洁净室,因为这些物品中含有化学成分与香精,会在洁净间内产生挥发性有机化合物(VOCs)和其他污染物,所以不能使用。但可以涂抹适合洁净室的护手霜。

3,其他不准做的事:不准将长发裸露;不准穿纤维毛衣或容易掉落材料的衣物;不准携带可能产生静电的材料;不准穿脏衣服;不准穿过于宽松的衣服;不准穿短裤、背心等暴露皮肤的衣物;不准带电子产品等等。

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超净间更衣流程

进入预更衣区(一更)

1,带上静电帽或头套,把头发完全包裹在里面

2,走过粘性的垫子,去除鞋上多余的泥土,并给鞋子套上一次性鞋套。
3,脱掉不必要的衣服,穿上干净的防静电外衣

4,洗手,吹干,带上手套
进入更衣区(二更)
1,步行至更衣区
2,找到自己的洁净袋,拿出连体洁净服,头罩,鞋子,并将其放在长凳上。长凳将更衣室分开,长凳的一侧为干净区,一侧为脏区。

3,戴上无尘口罩,

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4,套上头罩,扣紧

5,穿上连体洁净服:将连体服自然展开,找到连体服的拉链,将其完全拉开。将连体服的袖子插在连体服内,双手拿着连体服的腰部,弯腰先将一条腿插进连体服的裤腿中,再将另一条腿插入,之后站立,将一只手臂伸进袖子中,再将另一只手臂伸进袖子,拉上连体服拉链,扣紧颈部,腕部,脚踝处按扣。全程不要让连体衣触碰到地板或墙壁。

6,穿上无尘靴:坐在长凳上,先穿上一只靴子,将脚放在长凳干净的一侧,另一只脚在脏的一侧,再穿另一只靴子,两只靴子都穿上后,不要再返回脏区,只准在干净区行走。

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7,戴上护目镜或防护罩等
8,洗手,吹干。要求严格的Fab会再换一双手套,或者在原手套上再套一双干净的手套,并将袖口包裹在手套内。
9,在更衣镜前检查是否穿衣规范,有不规范的地方及时更正

10,确认无误后,进入风淋室,经过粘垫,进入Fab

什么情况下出来不需要脱超净服?

紧急疏散时,人员需立即离开洁净室,不得脱掉超净服。其他情况下,包括去洗手间,都需要脱掉超净服。

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http://www.dtcms.com/a/578527.html

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