CCD CMOS传感器
1、CCD是什么
cmos和ccd都是指的相机内部的传感器,cmos相机和CCD相机是两种常见的图像传感器类型。早期主要以CCD相机为主流。后期技术的发展CMOS 以小功耗,价格低占据主流市场
CCD 相机中的ccd 是指电荷耦合器件,能够将光线变为电荷并将电荷存储和转移
2、CCD历史发展
维度 | CCD 传感器 | CMOS 传感器 |
---|---|---|
工作原理 | 电荷耦合,统一读出 | 每个像素独立放大输出 |
图像质量 | 画质优异,低光表现好,色彩还原准确 | 早期画质较差,现代已接近 CCD |
功耗 | 功耗高,需 12-18V 驱动电压 | 功耗低,可在较低电压下工作 |
成本 | 制造工艺复杂,成本高 | 工艺成熟,成本低 |
速度 | 读取速度慢,不适合高速连拍 | 读取速度快,支持高帧率 |
集成度 | 集成度低,尺寸大 | 集成度高,支持小型化 |
3、CCD的工作原理
第16.01讲 图像传感器技术 1 CCD图像传感器的测量原理_哔哩哔哩_bilibili
CCD 是由若干个电荷耦合单元组成,基本单元是 MOS(Metal-Oxide Semiconductor)光敏元。(通过 MOS 电容实现光信号→电荷信号的转换,再通过电荷耦合转移实现信号读取。)
MOS 光敏元单元结构:以 P 或 N 型半导体为衬底、上面覆盖一层厚度约 120nm 的SiO₂氧化层(SiO₂作为绝缘层功能的核心作用是隔离栅电极与衬底,形成电容结构)、在 SiO₂表面沉积一层金属电极为栅电极(金属层)的三层结构 ,对应 “金属 - 氧化物 - 半导体(MOS)
栅极(Gate Electrode)定义
栅极是 MOS 光敏元(及 CCD 器件)中控制电荷存储与转移的 “电子开关 / 电场控制器”,由沉积在 SiO₂电介质表面的金属或掺杂多晶硅构成(早期用金属,后期多采用掺杂多晶硅,因与硅衬底兼容性更好、工艺更易集成),是 MOS 结构的 “顶层关键电极”。
栅极 “一块一块” 地放置在二氧化硅上面,是由 CCD(电荷耦合器件)的工作原理和电荷转移机制决定的,核心目的是通过分区控制电压,实现电荷的 “定向、有序转移”
- 电荷存储:给某段栅极施加高电压时,会在\(\ce{SiO_2}\)下方的 Si 衬底中形成 “势阱”(可以理解为 “电荷陷阱”),光生电荷会被存储在势阱中。
- 电荷转移:通过控制不同相位电压的时序变化(比如依次升高 / 降低电压),势阱的位置会 “移动”,从而带动电荷从一段栅极下方,转移到下一段栅极下方。
1. 核心作用一:构建 “电荷存储容器”,实现光电信号存储
栅极通过施加正向电压,在下方 SiO₂电介质和半导体衬底之间形成强电场 —— 这个电场会 “推开” 衬底表面的多数载流子(如 P 型衬底中的空穴),形成一个 “耗尽层”(相当于 “空的容器”)。当光线照射衬底时,产生的光生电子(载流子)会被这个电场 “吸” 到耗尽层中存储起来,且存储的电荷量与光照强度成正比(光多我们的电荷就多)。👉 类比:栅极就像 “电容器的上极板”,衬底是 “下极板”,SiO₂是 “极板间的绝缘层”;施加电压相当于 “打开容器的盖子”,让光生电荷能稳定存放在容器里(若不施加电压,电场消失,电荷会快速复合,无法存储)。
2. 核心作用二:控制 “电荷耦合转移”,实现信号读取
CCD 的核心是 “电荷耦合”—— 多个 MOS 光敏元(栅极)按顺序排列,通过依次改变相邻栅极的电压,让前一个光敏元存储的电荷,在电场的 “推动” 下,像 “接力棒” 一样转移到下一个光敏元中,最终传输到信号读出端。
每个景物对光的反射都是不一样的,我们的面阵接受到不同的光线强度,产生不同的电子容量的陷阱,n*M个点,经过放大器,将我们的电信号传递出去, 光的的景物信号变成 电信号的输出,
总结:
CCD(电荷耦合器件)传感器是一种将光信号转换为电信号,并实现信号存储和传输的器件, 其工作原理主要分为光电转换、电荷存储、电荷转移和信号输出这几个过程:
- 光电转换:CCD 传感器由众多 MOS(金属 - 氧化物 - 半导体)光敏元组成,每个 MOS 光敏元相当于一个小型光电转换器。当光线照射到 MOS 光敏元的 P 型硅衬底时,光子的能量被吸收,激发 P 型硅衬底中的原子,使共价键中的电子获得能量挣脱束缚,产生电子 - 空穴对(即光生电荷)。由于栅极施加了正电压,在 SiO₂下方的 P 型硅衬底中形成势阱,带负电的电子被吸引到势阱中,而带正电的空穴被排斥,从而实现光信号到电荷信号的转换。并且,入射光强越强,产生的光生电荷越多;入射光弱,则光生电荷少 ,无光照时无光生电荷。
- 电荷存储:在光信号转换为电荷信号后,电子被存储在由栅极电压形成的势阱中。只要栅极上的电压保持,电子就能在势阱中稳定存储, 不同位置的 MOS 光敏元根据光照强度存储了不同数量的电荷,这些电荷就像是图像的 “数字信息”,等待进一步处理。
- 电荷转移:CCD 传感器中的栅极被分割成多个独立部分,通过对这些栅极施加不同相位的时钟脉冲信号(如 φ₁、φ₂、φ₃ ),可以控制势阱的深度和位置。按照一定的时序改变这些时钟脉冲信号的电压,势阱的位置会发生移动,从而带动存储在势阱中的电荷从一个 MOS 光敏元转移到相邻的 MOS 光敏元, 最终将所有的电荷转移到输出端。
- 信号输出:转移到输出端的电荷,通过输出二极管等结构,被转化为电压或电流信号,然后经过放大、模数转换等处理, 最终形成数字图像信号,供后续的图像显示、存储和处理等操作使用。
概括来讲,CCD 传感器通过 MOS 光敏元实现光电转换与电荷存储,再借助栅极的时钟脉冲信号实现电荷转移,最后将电荷信号转化为可利用的电信号 ,完成从光信号到电信号的完整转换与传输过程。