什么是ppm，ppb，ppt？

在半导体制造中，有些工序会涉及到到极高精度和极低杂质水平的情况，常会用到ppm、ppb和ppt来表示某种物质的浓度。例如：半导体晶体生长中使用的原料，砷化镓（GaAs）或氮化镓（GaN）的杂质浓度；半导体设备需要经过严格的清洁过程以去除可能影响设备性能的杂质。在清洁过程的检查阶段，来测量清洁剂或其他化学品的残留浓度；厂务的废水废气中的微量元素浓度；无尘室中的某些特定杂质浓度等都需要用高精度的浓度单位来表示。

什么是ppm，ppb，ppt？

ppm,全称为"parts per million",中文指百万分之一。表示在总量为一百万份的混合物中，有多少份是我们需要关注的物质。换句话说，1ppm等于1/1,000,000。

ppb，全称为"parts per billion"，中文指十亿分之一。表示在总量为10亿份的混合物中，有多少份是需要关注的物质。换句话说，1ppb等于1/1,000,000,000。

ppt，全称为 "parts per trillion"，中文指万亿分之一。表示在总量为1,000,000,000,000（一万亿）份的混合物中，有多少份是我们需要关注的物质。换句话说，1ppt 等于 1/1,000,000,000,000。

上述三种微量的浓度单位均是无量纲量，可以用来定义溶液的浓度和气体浓度，我们可以用它们来表示质量百分浓度，摩尔浓度，质量-体积浓度等。

与其他单位的换算：
1ppm=1mg/kg  1ppm=1mg/L  1ppm= 0.0001%

1 ppb = 1 µg/kg    1ppb=1ug/L

1 ppt = 1 ng/kg   1 ppt =1ng/L 

1ppm=1000ppb=1000000ppt

极微量杂质对芯片制造的影响
比如说，在硅晶体中，即使是ppb级别的微量杂质也可能显著改变硅的电性能。这是因为这些杂质原子可能会成为电荷载流子，改变硅的导电性。因此，在半导体制造过程中，必须要严格控制杂质的浓度，通常要求在ppb级别甚至更低。砷是一种常用的掺杂材料，用来改变硅的电性能。在这种情况下，砷的浓度可能会被控制在几十ppb到几百ppb的范围内，这取决于制造的半导体设备的具体要求。

再比如，在制造过程中使用的化学品，如酸、碱、溶剂等，它们可能含有微量的金属杂质。这些杂质的浓度也需要被严格控制在ppb级别，以防止它们对半导体性能产生负面影响。例如，一种用于清洁硅片的溶液可能需要保证其金属杂质浓度低于1 ppb。

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