半导体标准协议 E94 ControlJob学习
所以GEM300标准也随之而来。
在这只是记录一下自己的理解，防止忘记。
一个批次作业的控制作业
将单个Carrier作为一个批次进行处理。此示例演示了在简单情况下使用控制作业的简便性。晶圆顺序保持不变，将晶圆材料退回到源载体。
| # | 解释 | Dir | 消息 | CJ状态 | PJ状态 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 创建PJ | H->E | PRJobCreateEnh(PRJobID=prj01_04, Mtrl=CS001,RecID=ILD3) | No state | No state |
| 2 | H<-E | PRJobCreateAck(PRJobID,PRJobStatus) | In POOL | ||
| 3 | 请求CJ,材料 输出规格保持 从源载流器 到目标载流器 的硅片顺序 | H->E | ControlJobCreate (CtrlJobID=cjf01_01, ProcessingCtrlSpec=(prj01_04,null,null), MtrlOutSpec=(CS001,null,null), MaterialIn=CS001, StartMethod=AUTO) | ||
| 4 | 接收请求 | H<-E | ControlJobCreateAck (CtrlJobID=cjf01_01,JobStattus) | QUEUED | |
| 5 | 如果没有CJ是 SELECTED 状态，因此新创建的CJ 状态立即变换 | H<-E | 事件 (CJSELECTED, CtrlJobID=cjf01_01) | SELECTED | |
| 6 | CJ指定的 Carrier到达LP | H<-E | 事件 (CARRIERIDREAD, CID=CS001) | ||
| 7 | 设备识别并开始执行CJ | H<-E | 事件(ControlJobStart,cjf01_01) | EXECUTING | |
| 8 | CJ启动PJ，开始 将晶圆装载到腔体中 | H<-E | 事件(PRJOBSETUP,prj01_04) | ACTIVE SETUP | |
| 9 | 晶圆加工开始 在晶圆放入腔体后 | H<-E | 事件 (PRJOBPROCESSING,prj01_04) | ACTIVE PROCESSING | |
| 10 | 设备开始将晶圆 返回到原载体(目标载体) | H<-E | 事件 (PROCESSINGCOMPLETE, PRJob=prj01_04) | ACTIVE PROCESSING COMPLETE | |
| 11 | Carrier装满晶圆 | H<-E | 事件(CarrierComplete=CS001) | ||
| 12 | Host想要拿走Carrier | H->E | Rcommand(CarrierOut=CS001) | ||
| 13 | 可以从设备上拿走Carrier | H<-E | 事件(ReadtoUnload,CarrierID=CS001,PortID) | ||
| 14 | H<-E | 事件(PRJOBCOMPLETE,PRJob=prj01_04) | No state | ||
| 15 | 作业可以在Carrier拿走之前完成 | H<-E | 事件(ControlJobCompleted=cjf01_01,status=OK) | COMPLETE |
后面再慢慢更新