SEMI E40标准的加工任务状态模型(Process Job State Model)解析

半导体制造设备的自动化控制离不开对加工任务（Process Job）的精细管理。SEMI E40标准定义了加工任务的全生命周期状态模型。

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一、状态模型的核心设计

SEMI E40通过 Harel状态图 分层建模，支持嵌套与并发子状态，确保复杂流程的灵活控制。

1. 顶层状态划分

   • PRJOBQUEUED：任务排队等待资源分配；
   • PRJOBACTIVE：任务激活，进入核心操作阶段；
   • Process Job Complete/Cancelled：任务终结或取消。

2. 并发子状态管理

   • Executing：正常执行流程（含 SETUP, PROCESSING 等阶段）；
   • Pause：暂停控制（PAUSING, PAUSED）；
   • Abort：紧急终止（ABORTING）；
   • Stop：有序停止（STOPPING）。

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1. 状态模型概览

• 核心状态层级：
  • PRJOBACTIVE（活跃状态）：任务处于执行阶段，包含多个并发子状态（Executing、Pause、Abort、Stop）。
  • 非PRJOBACTIVE：任务未激活（如排队中或已终结）。
• 异常操作类型：
  • 暂停（Pause）：临时中断任务，允许恢复；
  • 终止（Abort）：立即强制终止，不可恢复；
  • 停止（Stop）：有序终止，保留物料完整性；
  • 取消（Cancel）：移除队列中的未激活任务。

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二、Processs job transition Table表解析

#	当前状态	触发条件	新状态	执行动作
1	(Process Job Created)（作业已创建）	加工资源接受PR Job Create请求	PRJOBQUEUED（作业排队）	将作业加入队列；发送PR Job Create Ack确认消息。
2	PRJOBQUEUED（作业排队中）	加工资源已分配给该作业(如资源空闲、物料就位)	PRJOBACTIVE（作业激活）	将作业移出队列；默认进入活跃状态。
3	非PRJOBACTIVE状态	默认进入Executing并发状态	SETUP（准备阶段）	发送PR Job Setup消息；执行资源预处理（如腔室预热）；等待物料到达并准备加工
4	SETUP（准备阶段）	物料已就位且自动启动（PRProcessStart属性为TRUE）	PROCESSING（加工中）	发送PR Job Processing消息；按配方加工物料。
5	SETUP（准备阶段）	物料已就位但需手动启动（PRProcessStart属性为FALSE）	WAITING FOR START（等待启动）	发送PR Job Waiting for Start消息；等待监督者发送启动指令。
6	WAITING FOR START（等待启动）	收到“PR Job Start Process”指令	PROCESSING（加工中）	发送PR Job Processing消息；启动加工流程。
7	PROCESSING（加工中）	物料加工完成	PROCESSINGCOMPLETE（加工完成）	发送PR Job ProcessingComplete消息；等待物料移出；执行后处理（如腔室清洁）。
8	PROCESSINGCOMPLETE（加工完成）	物料已移出且后处理完成（或无后处理需求）；或被同一物料的新作业替代且无需后处理	Process Job Complete（作业完成）	发送PR Job Complete消息；删除作业实例。

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#	当前状态	触发条件	新状态	执行动作
9	非PRJOBACTIVE状态	默认进入 Pause 并发状态	NOT PAUSED（未暂停）	无操作。
10	NOT PAUSED（未暂停）	收到Pause指令或内部触发暂停	PAUSING（暂停中）	暂停当前活动，在首个安全点停止。
11	PAUSING(暂停中)	所有活动已暂停	PAUSED（已暂停）	无操作。
12	PAUSED（已暂停）	收到Resume指令	NOT PAUSED（未暂停）	从暂停点恢复执行活动。
13	非PRJOBACTIVE状态	默认进入 Abort 并发状态	NOT ABORTING（未终止）	无操作。
14	NOT ABORTING（未终止）	收到Abort指令或内部触发终止	ABORTING（终止中）	立即终止当前活动，进入紧急停机流程。
15	ABORTING（终止中	终止流程完成	Process Job Complete（任务完成）	发送PR Job Complete消息（标记异常终止），删除任务实例。
16	非PRJOBACTIVE状态	默认进入 Stop 并发状态	NOT STOPPING（未停止）	无操作。
17	NOT STOPPING（未停止）	收到Stop指令或内部触发停止	STOPPING（停止中）	有序停止当前活动，在首个安全点停机。
18	STOPPING（停止中）	所有活动已停止	Process Job Complete（任务完成）	发送PR Job Complete消息（标记异常终止），删除任务实例。
19	PRJOBQUEUED（排队中）	收到Cancel,Abort或Stop指令	Process Job Cancelled（任务取消）	从队列移除任务并删除，发送PR Job Complete消息。