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晶圆厂高架地板，又称为活动地板或防静电地板，是一种特殊设计的地板系统，主要用于高科技制造环境，如半导体晶圆厂。高架地板的材料通常具有防静电特性，以保护敏感的半导体制造设备和微电子元件。晶圆厂的高架地板一般由聚氯乙烯（PVC）材料制成，并添加了防静电剂。它们具有良好的防静电性能、耐磨性和耐腐蚀性，适用于需要高度洁净的生产环境。

高架地板的作用？

电缆和管线管理：高架地板为晶圆厂内的电缆和管线提供了方便的管理方式。电缆、冷却管线、气体管道和其他设施都可以方便地安置在地板下，这样有助于维持生产区域的整洁和安全。

防静电：晶圆厂中的静电可能会对微电子设备造成损害。高架地板的表面通常由防静电材料制成，有助于消除静电，保护敏感设备免受损害。

空气流通和空气质量控制：晶圆厂需要维持极高的空气质量，以防止微小颗粒对产品造成污染。高架地板有助于空气在室内自由流动，并能与洁净室的空气过滤系统配合，有效地去除颗粒污染。

振动控制：微电子制造过程对振动非常敏感，微小的振动都可能导致产品缺陷。高架地板可以帮助分散和吸收振动，提供稳定的生产环境。

高架地板的结构？
穿孔面板：地板板块的大小和形状可以根据实际需求进行定制。晶圆厂穿孔面板是一种特殊类型的高架地板板块，它在地板表面上设计有一定数量的小孔。穿孔面板为关键应用提供卓越的冷却和通风。特别是在需要精确控制空气质量和环境条件的洁净室中十分需要穿孔面板。

支撑柱：这是一个垂直的、可调节的柱子，支撑上面提到的地板面板。面板用螺丝固定在每个角的钢柱上（每个面板 4 个柱子）。如果需要，柱子通常使用环氧树脂基粘合剂和机械固定件粘合到底层地板上。支撑柱是高架地板的基础，通常由金属制成，如钢或铝。它们将地板板块支撑在一定高度，形成一个空间，用于容纳电缆、管线等设施。立柱的高度取决于架空地板下要存放的电缆和其他服务的体积；典型高度介于 610 毫米和 1219 毫米之间。为了满足低矮系统的工业需求，有些芯片厂已尝试将活动地板的高度降低到 4 英寸（100毫米）。

横梁：横梁连接支撑柱，增强地板的稳定性和承重能力。它们以一定的间距穿过地板，形成一个稳定的框架结构。

防静电接地系统：为了确保防静电地板的有效性，需要将其连接到一个接地系统。接地系统可以将地板上产生的静电有效地排放到地面，防止静电对敏感设备和元器件造成损害。

其他可选择安装的部件：当地板升高到足以让人爬行甚至步行穿过时，通常需要额外的结构支撑、照明、灭火系统和电缆桥架系统等。

高架地板的维护？
为了确保地板的性能和耐用性，需要定期进行维护和检查。定期清洁地板表面，以去除灰尘、污渍和其他杂质。使用适当的清洁剂和设备，如微纤维拖把或防静电扫帚，以防止对地板造成损坏。避免使用过量的水或强烈的化学清洁剂，因为它们可能损坏地板材料或导致防静电性能降低。

遵守地板制造商指定的承重能力，避免在地板上放置过重的设备或物品。超载可能导致地板变形、损坏或失效。

定期检查防静电接地系统，确保其有效性和稳定性。使用专业的测试仪器检查地板的防静电性能，并确保接地系统连接正常，以防止静电对敏感设备和元器件造成损害。

如果需要对地板下的设施进行维修或更改，则需要特殊工具和有经验的工人进行操作。一般用地板拉动器、吸力起重器等连接到单独的面板上，然后用力提起即可。