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氮气柜是一种通过持续注入高纯度氮气,维持柜内惰性气体环境的设备,用于存储半导体晶圆或其他敏感元件,防止氧化、吸湿和污染。氮气柜操作指南是怎样的?下面沐渥小编给大家介绍一下。
一、操作前准备
(1)安全确认:确保设备周围通风良好,远离火源或高温区域;确认氮气供应管路连接牢固,气瓶压力≥5 bar,氮气纯度≥99.999%;校准氧气浓度监测仪和温湿度传感器、流量,确保精度误差;检查氮气柜密封条完好,无破损;柜门闭合正常,压力表、温湿度传感器显示正常。
(2)个人防护:操作时需佩戴防静电手套、无尘服,避免直接接触电子元件表面。


二、操作步骤
(1)启动氮气柜:缓慢打开氮气瓶阀门,调节减压阀至设备指定压力;启动氮气柜电源,通过控制面板设置目标湿度(通常30%-50%)和氧气浓度阈值(≤0.5%)。确认电磁阀启动声,观察流量计数值与设定值一致‌。关闭柜门,确认密封胶条无变形,启动自动充氮程序,直至柜内环境达到设定值。
(2)存取电子元件:钥匙开门或触屏开门,开门后,快速存取物品,每次开门时间不超过30秒,以减少氮气流失。
(3)放置规范:避免堆叠或倾斜,轻拿轻放,避免静电放电损伤。
三、日常监控
(1)实时参数监测:每小时记录一次柜内氧含量、湿度及温度数据、每日流量等,如氧含量>200 ppm或湿度>10% RH,立即检查气源或密封性。
(2)定期校准:每月使用标准传感器校准柜内氧含量和湿度。


四、维护与保养
(1)常规维护:清洁柜体表面,检查氮气流量计是否正常;检查密封条是否老化,检查管路是否有泄漏。
(2)长期停机:若设备停用超过24小时,需排空柜内氮气,关闭气源并断电。恢复使用时,重新执行预充氮流程。
五、安全注意事项
氮气为无色无味气体,高浓度会导致缺氧,操作时确保通风,禁止将头伸入柜内。若发现氮气泄漏,立即关闭气源,疏散人员并通风。氮气柜附近严禁使用明火或高温设备。若柜内温湿度持续超标,立即转移晶圆至备用柜并联系设备厂商。
六、‌耗材与设备寿命‌
电磁阀和传感器寿命约5万次动作,建议每2年预防性更换‌。通过规范操作和定期维护,氮气柜可保障晶圆存储的洁净度和氧含量稳定性,并能精准的统计每日消耗的流量。
沐渥建议本指南需结合设备实际型号及厂商手册使用,操作人员需经过专业培训后方可上岗。

http://www.dtcms.com/wzjs/141525.html

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