第29章 光源的涅槃(秀秀)
实验室的空气中弥漫着一种近乎凝固的紧张,仿佛每一次呼吸都需要额外的力气。秀秀站在EUV光源原型机“烛龙”的观测窗前,目光死死锁定在实时监控屏幕上那根不断跳动的红色曲线——镜面热变形实时监测数据。曲线像一条垂死的毒蛇,在危险阈值上方疯狂扭动,每一次峰值都像针一样扎在她的视网膜上。已经连续七十二小时了,团队尝试了七种不同的被动散热方案,结果无一例外:当光源功率提升到一百二十瓦,接近实现量产所需二百五十瓦门槛的一半时,核心的布拉格反射镜就会因为无法及时散逸的巨额热负载而发生微观形变。这种形变看似微不足道,仅有纳米级别,却足以让精心设计的反射光路发生致命的偏移,导致最终投射在硅片上的图形模糊不清,良率归零。工业皇冠上的明珠,此刻正被自身产生的热量灼烤得黯淡无光。
“又失败了。”王工的声音干涩,带着通宵未眠的沙哑,他摘下眼镜,用力揉着布满血丝的双眼,“德国蔡司那边提供的传统热沉材料,导热系数已经到了极限。热流密度太大,热量堆积在镜面基底,就像……就像给镜子盖上了一床厚厚的棉被。”
秀秀没有立刻回应。她只是静静地看着那条红色曲线,脑海里浮现的却是几天前与墨子那次深夜通话。当她几乎被挫败感淹没,声音带着自己都未曾察觉的颤抖时,电话那头的墨子沉默了片刻,然后用一种异常冷静的语调说:“秀秀,记得我的震荡模型吗?梯度下降。我们永远不知道真正的谷底在哪里,只能通过反复的试探,测量当前的坡度,然后朝着感觉上‘下坡’的方向迈出一步。有时候,你以为是最低谷了,结果下一步可能更低。但关键是,不能停在原地,也不能因为一次错误的迈步就放弃。你现在,就是在为整个团队测量‘热管理的坡度’。”他没有说什么空洞的鼓励,而是用他熟悉的领域知识,给了她一个理解问题的新视角。那一刻,她感受到的不仅仅是资金支持,更是一种精神上的锚定。这种依赖感,悄然滋生,超越了单纯的感谢。
她深吸一口气,转过身,面对着一群同样疲惫但眼神尚未熄灭的团队成员。“被动散热的路,可能真的走到头了。”她的声音在寂静的实验室里显得格外清晰,“我们必须引入更激进的方案——主动冷却。”
“主
