源表=电源+数字表？一文看懂SMU源表 2025-04-14

源表（Source Meter Unit, SMU）广泛用于半导体器件、材料、医疗、发光器件与光通信等行业，测量器件的伏安（I-V）特性曲线、绝缘材料的电阻值（电阻率）、电容的绝缘电阻（漏电流）、光电器件的暗电流或者L-I-V等。

源表的名称已经清晰的告诉我们，它包含了高精度电源输出和测量，但它仅仅是电源和万用表的简单拼凑吗？为了简要说明这个问题，我列出了源表的以下几个典型的应用场景：

在测量绝缘材料的电阻值（GΩ/TΩ）或二极管的反向漏电流时，通常给被测件DUT施加电压激励，并测量对应的电流；

在测量常规小电阻，或者驱动LED发光二极管时，通常给DUT施加电流激励，测量对应的电压值；

测量电容器、锂电池等具备储能特性器件时，会对其进行充放电的同时，连续记录电压和电流。

通常源表都具备电压源Vs、电流源Is、电流表IM、电压表VM四种功能，而且能够任意搭配激励源和测量功能，按照被测DUT特征选择对应的模式。如下图所示：

和直流电源称输出端子V+、V-不同，源表SMU通常将源的输出端子称为High Force、Lower Force。因此，源和测量的组合有：VFIM、VFVM、IFVM、IFIM（V/I激励F + V/I测量M&#