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半导体电阻测试是评估半导体材料电学性能的重要手段，其核心目标是测量材料的电阻率、方块电阻等参数。根据不同的测试方法和应用场景，半导体电阻测试技术主要包括四探针法、两探针法、范德堡法等。

半导体电阻测试的基本原理
1. 四探针法
四探针法是目前最常用且精度较高的半导体电阻测试方法之一。其基本原理是通过四个探针在样品上施加电流和测量电压，从而计算出电阻率。具体来说，电流从两个探针（A和D）流入样品，而电压则通过另外两个探针（B和C）测量。由于电流路径与电压测量路径相互独立，四探针法可以有效消除样品表面接触电阻的影响，从而获得更准确的电阻率值。四探针法适用于测量半导体材料的体电阻率、方块电阻以及薄层电阻。例如，对于三维半导体块体材料，四探针法可以测量其电阻率，而对二维或薄膜材料，则可以测量其方块电阻。此外，四探针法对样品的形状和尺寸要求较低，适用于片状、棒状等多种形态的半导体材料。

2. 两探针法
两探针法适用于测量高阻器件（如电阻率大于10 MΩ的半导体材料）。该方法通过在样品两端施加电压并测量流过的电流，利用欧姆定律计算电阻率。然而，由于两探针法无法区分样品表面接触电阻和体电阻，因此在测量高阻材料时，其精度相对较低。不过，对于某些特定类型的半导体材料，如具有均匀电场分布的棒状或方形器件，两探针法仍可提供一定的测量精度。

3. 范德堡法
范德堡法是一种用于测量半导体材料电阻率的实验方法，尤其适用于测量半导体薄膜的电阻率。该方法通过在样品上施加电流并测量电压，结合电极的排布方式，计算出电阻率。范德堡法在测量半导体薄膜的电阻率时具有较高的精度，但其操作较为复杂，对样品的制备要求较高。