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高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。随着LED和半导体的发展，对于其原物料生产的所需要的高纯气体，特别是7N级别的高纯氨气的需求不断增加，近年国内气体行业相关公司纷纷投入研发并投资生产高纯氨产品。气体行业属于朝阳行业，属于百年兴旺的行业，气体市场前景广阔，发展空间巨大，气体行业已诞生出上万亿元市值的气体公司。

由于我国工业气体起步时间较晚、第三方气体供应商较为分散等原因，部分地区下游厂商的气体需求仍无法得到充分满足。国内主要企业包括浙江建业微电子材料有限公司(建业股份)、苏州金宏气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、安徽三安气体有限公司、郴州湘能半导体气体有限公司和大连科利德半导体材料股份有限公司等。

高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。

2020年中国电子级高纯氨产量5.34万吨，同比增长18.9%;2021年中国电子级高纯氨产量6.09万吨，同比增长14.0%;2022年上半年中国电子级高纯氨产量3.50万吨，同比增长14.9%。

随着我国超大规模平板显示器、集成电路、光伏发电等产业的迅速发展，高纯级电子气体市场的需求量明显增加，电子特种气体的国产化已是大势所趋。我国在电子特种气体国产化方面取得可喜进展：高纯气体中高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开国内市场，国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局。

高纯气体系统能将制程所需的高纯气体从供气端安全稳定的传输至使用终端设备，同时保证高纯气体不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，保证气体纯度，使气体满足生产工艺的纯度要求。经过多年的发展，高纯工艺系统行业深入到中国人生活中的方方面面，广泛应用于半导体、光伏、LED、医药和食品饮料等行业。