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2025年7月2日,浙江大学航空航天电子工程研究所的Beibei Lv等人在《Applied Physics Letters》期刊发表了题为《GaN cap impacts on gate leakage mechanisms in AlGaN/GaN high-electron mobility transistors》的文章,基于不同温度和应力条件下的Igs–Vgs测量方法,研究了GaN帽层对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMTs)栅极漏电机制的影响,实验结果表明,去除GaN帽层的凹栅器件在高反向栅极偏压下的陷阱能级更高,导致漏电流增加,且在高温反向偏压应力后,低反向栅极偏压下的漏电机制从应力前的温度无关变为温度相关,该研究结果对AlGaN/GaN HEMTs在高频应用中的可靠性提升具有重要意义。

一、引言与背景知识

1.1 研究背景

近年来,AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMTs)因其独特的材料特性(如高电子饱和速度、高击穿电场和低相对介电常数)而成为高频应用的热门候选器件。这些特性使得AlGaN/GaN HEMTs在高频、高功率和高电压应用中展现出巨大的潜力。然而,随着器件尺寸的不断缩小,尤其是栅极长度的减小&#

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