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2013 年,佛罗里达大学的 Erin Patrick 等人基于 TRIM 和 FLOODS 模型,研究了质子辐照对 AlGaN/GaN HEMTs 的影响。研究背景方面,AlGaN/GaN HEMTs 因其宽禁带、高击穿场、高电子迁移率以及优秀的热管理能力,在商业和军事领域应用前景广阔,但长期可靠性仍是问题,尤其是栅极边缘的坑状缺陷会导致器件性能显著退化,而质子辐照后临界电压增加,似乎缓解了坑状缺陷形成,该研究旨在探索这一现象背后的物理机制。

研究方法上,包括实验与仿真。实验中,在韩国放射线与医学科学研究所利用回旋加速器进行质子辐照,使 HEMTs 受到不同注量质子照射,通过霍尔测量等获取器件的迁移率、载流子浓度等参数。仿真方面,采用 FLOODS TCAD 有限元求解器求解泊松方程和连续性方程来模拟器件电学性能,利用 TRIM 程序估算质子辐照产生的陷阱密度,将陷阱浓度添加到泊松方程中模拟辐照效应,并模拟了不同情况下的器件结构,如考虑 GaN 缓冲层中负电荷陷阱、氮化物 /AlGaN 界面处负电荷陷阱等对器件电场分布及 I-V 特性的影响。

实验结果显示,不同注量质子辐照后,HEMT 样品的临界电压增加,同时载流子浓度降低、迁移率下降、接触电阻增加、阈值电压正向偏移。在陷阱密度估算中,考虑了位移相关的点缺陷是影响器件性能的主要机制,但由于不同文献对 Ga、N 空位的阈值位移能量等参数说法不一,存在一定不

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