2025 全国大学生数学建模竞赛题目-B 题 碳化硅外延层厚度的确定 问题一完整思路
1.首先,我们定义模型中涉及的物理量:
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d: 外延层的厚度 (我们要求解的量)
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n₀: 外延层上方介质的折射率 (通常是空气, n₀ ≈ 1)
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n₁: 外延层的折射率
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n₂: 衬底的折射率
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θ₁: 入射角
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θ₂: 折射角
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λ: 入射光在真空中的波长
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m: 干涉级数 (一个整数,m = 0, 1, 2, ...)
2. 计算光程差 (Optical Path Difference, OPD)
反射光2比反射光1多走了一段路程,这段路程位于折射率为 n₁ 的外延层内。这个额外的光程差 (OPD) 是产生干涉的主要原因。
根据图中的几何关系,我们可以推导出光程差的表达式:
OPD = n₁ * (AB + BC) - n₀ * AD<