全球SPAD技术发展全景:工艺节点、产能布局与中国突破
全球SPAD技术发展全景:工艺节点、产能布局与中国突破
(基于2025年最新行业数据)
一、工艺节点竞赛与技术路线图
SPAD技术演进呈现**“背照式(BSI)→3D堆叠→量子集成”**三级跳趋势,工艺节点选择高度依赖应用场景:
工艺梯队 | 代表节点 | 核心应用 | 技术特点 | 领先厂商 |
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成熟节点 | 180nm-90nm | 消费电子(手机dToF、人脸识别) | 高性价比,暗计数率(DCR)<0.5 Hz/μm²,填充因子60%-80% | STM(90nm RF-SOI)、X-FAB(180nm ISOMOS1) |
先进节点 | 55nm-40nm BSI | 车载LiDAR、高端手机 | 3D集成起步,PDE>35%@905nm,时序抖动<100ps | 索尼(40nm BSI)、TSMC |