Adobe illustrator、klayout绘制光刻图及其尺寸映射

Adobe illustrator

绘制光刻图

进行光刻

在1 um倍镜下光刻，1 pixel ≈ 0.12 um。

klayout

macro

调整mag取值使得kalyout中的尺寸与光刻下的尺寸匹配。

if self.fac.currentText == "8X":  # Lens Parametermag = 1
elif self.fac.currentText == "20X":mag = 2
elif self.fac.currentText == "50X":mag = 5
mag = 1 / mag

klayout中20 um，当mag取8.32时：

官方切图

选择相应的倍镜进行切图即可，光刻后测量结果证明符合：