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在皮秒深紫外激光器的开发过程中，不同阶段使用的工具软件及其对应的输出文件如下：
一、设计阶段
工具软件：
- Zemax OpticStudio：用于光学系统的初步设计和仿真，包括光线追迹、像差分析、优化设计等。
- MATLAB：用于数值计算和数据分析，支持定制化设计，如光信号传播路径模拟、像差曲线绘制等。
- SolidWorks/AutoCAD：用于光学元件与机械结构的协同设计，确保装配可行性，如镜头与镜筒的间隙配合。
输出文件：
- 光学设计文件：如.ZMX格式文件，包含光学元件参数、系统布局、像差分析结果等。
- 数值计算文件：如.M格式文件，包含计算代码、模拟结果、数据分析报告等。
- 机械设计文件：如.DWG或.SLDPRT格式文件，包含光学元件的三维模型、装配图、工程图等。
二、仿真阶段
工具软件：
- FRED光机模拟设计软件：支持几何光学描述的系统分析，包括照明系统、导光管、投影系统等。
- VirtualLab Fusion：基于物理光学的仿真软件，支持衍射、干涉、偏振等效应的模拟。
- Comsol Multiphysics：多物理场仿真软件，可用于光学-热力学耦合分析激光器性能。
输出文件：
- 仿真分析文件：如.FRD或.VLF格式文件，包含仿真模型、分析结果、可视化报告等。
- 多物理场仿真文件：如.COMSOL格式文件，包含仿真模型、分析结果、可视化报告等。
三、制造阶段
工具软件：
- AutoCAD/SolidWorks：继续用于光学元件与机械结构的详细设计，确保制造精度。
- CAM软件：如Mastercam、UG等，用于生成数控加工代码，指导光学元件的加工。
输出文件：
- 机械设计文件：更新后的.DWG或.SLDPRT格式文件，包含更详细的制造信息。
- 数控加工代码文件：如.NC或.G代码文件，包含加工路径、切削参数等信息。
四、测试阶段
工具软件：
- Imtest：用于镜头成像指标测试，如分辨率、畸变、视场角测试等。
- LabVIEW：用于测试系统的控制和数据采集，支持自定义测试流程。
- OriginPro：用于数据分析与可视化，支持绘制测试曲线、生成测试报告等。
输出文件：
- 测试报告文件：如.PDF或.XLS格式文件，包含测试数据、分析结果、性能评估报告等。
- 数据分析文件：如.OPJ格式文件（OriginPro项目文件），包含原始数据、处理后的数据、分析图表等。